ARCNL mikt op doorbraken in nanolithografie

In 2013 heeft ASML het initiatief genomen om samen met de UvA, VU en NWO-stichting FOM het zogenoemde Advanced Research Center for Nanolithography (ARCNL) op te richten. Het instituut op het Amsterdam Science Park richt zich op fundamenteel onderzoek dat nodig is voor technologische en procesmatige doorbraken in de nanolithografie. Doorbraken die weer snellere en krachtigere chips opleveren voor innovatieve oplossingen voor maatschappelijke uitdagingen in bijvoorbeeld de zorg, vervoer, communicatie en energiebeheer. Naast de gemeente Amsterdam en de provincie Noord-Holland steunt Holland High Tech het instituut financieel met een PPS-toeslag.

 

Korte en lange-termijn onderzoek

ARCNL telt eind 2016 80 onderzoekers en ondersteuners, gespecialiseerd in fundamenteel onderzoek, en werkt toe naar zo’n 100 in totaal. Professor Joost Frenken geeft leiding aan het onderzoekscentrum: ‘Ons laboratorium staat vol met meetapparatuur waarmee we tal van experimenten doen op uiteenlopende gebieden. We kijken daarbij enerzijds naar technieken, processen en apparaten zoals ASML ze nu gebruikt of op de markt brengt en de technische vragen die daarbij openstaan. Bijvoorbeeld hoe we een maximale hoeveelheid extreem-ultraviolet licht kunnen produceren. Anderzijds onderzoeken we ook lange-termijn ontwikkelingen en mogelijkheden.’

 

Succesvolle patentaanvragen

De nauwe samenwerking heeft al de eerste vruchten afgeworpen. Frenken: ‘Wij als fundamenteel onderzoekers kijken vanuit een meer wetenschappelijke invalshoek naar technieken en processen van ASML dan ASML zelf doet. Dat maakt de samenwerking ook zo waardevol: we vullen elkaar aan. Inmiddels hebben we samen een aantal patentaanvragen gedaan en zijn er ook al een paar goedgekeurd. Bijvoorbeeld voor inspectietools die zeer precies naar de oppervlakte en dieperliggende structuren van maskers en silicium plakken kunnen kijken. Ook zijn we bezig met processen om EUV-licht op nog efficiëntere wijze te produceren en met de bijzondere oppervlakken van de optiek die nodig zijn om dat licht op de juiste manier via het masker naar de silicium plakken te krijgen.’

 

Topsector steunt en inspireert

Met hulp van ARCNL kan ASML een wetenschappelijke voorsprong opbouwen ten opzichte van haar concurrenten wereldwijd. Frenken: ‘Holland High Tech ondersteunt ons financieel op de lange termijn via het topsectorenbeleid van het ministerie van Economische Zaken. We krijgen een PPS-toeslag van 25% bovenop de investering die ASML jaarlijks in ARCNL doet. Deze toeslag is essentieel om onze begroting rond te krijgen.’

 

‘Daarnaast ondersteunt en stimuleert Holland High Tech de gehele hightechsector’, zegt Frenken. ‘Een samenwerking is alleen zinvol in een klimaat waar de juiste kaders worden geschapen en innovatie op de juiste manier wordt gestimuleerd. Dat doet Holland High Tech met zijn lange-termijn beleid en roadmaps.’

 

Holland High Tech: Global Challenges, Smart Solutions

De Nederlandse hightechsector speelt een essentiële rol in het bedenken en realiseren van oplossingen voor wereldwijde maatschappelijke uitdagingen op het gebied van mobiliteit, gezondheid, duurzame energie, veiligheid en klimaatverandering, met technologieën die in Nederland stevig geworteld zijn. De sector is goed voor ruim de helft van alle private onderzoeksuitgaven in Nederland en is de grootste netto-exporteur. 

 

Foto credits: ARCNL/ Ivar Pel

Naar overzicht
Delen:
TwitterLinkedIn