Het combineren van Atomaire Krachten Microscopie met GHz akoestische golven om sonografie op de nanoschaal mogelijk te maken. Deze technologie biedt een scala van mogelijkheden voor halfgeleiderindustrie gericht, bio-medisch, en materiaalkundig onderzoek. In dit project verleggen we de fysiche grenzen van dit concept en zullen we een proof-of-concept realiseren.
ASML en TU Delft werken samen op het gebied van photo-acoustic subsurface atomic force microscopy (pass-AFM). In pass-AFM wordt de cantilever van een atomic force microscope als GHz ultrasound transducer gebruikt om daarmee, op eenzelfde manier als voor medische ultrageluid technieken , drie-dimensionale beeldvorming van een object te maken. Door de zeer hoge GHz frequenties en nanometer tranducer grootte, zorgt dit voor een unieke, nanometer ruimtelijke resolutie in drie dimensies.