Het voorspellen van anomalieën en het proactief aanpassen van productieprocessen is essentieel om op duurzame wijze hoogwaardige halfgeleiderwafers te garanderen. De uitdaging ligt in de complexiteit van waferproductieprocessen, zoals etsen en depositie, en vertrouwelijkheidsgrenzen in de productieketen. Dit project, FedDepo, richt zich op het depositieproces in nauwe samenwerking met ASM.
We streven ernaar om nauwkeurige en effectieve tijdreeksvoorspellings-/synthesemodellen te ontwerpen die de prestaties van depositie en de wafer vastleggen in een grote ontwerpruimte van systeem- en verwerkingsconfiguraties. Vervolgens begeleiden we de procesoptimalisatie om het waferfoutpercentage te verlagen.